-
1 электронно-лучевая литография
(EBL)Электронно-лучевая литографияМетод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для облучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование ( проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем информации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.
Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографииАнгло-русский словарь по нанотехнологиям > электронно-лучевая литография
-
2 micrometer lithography
литография для изготовления ИС с микронными размерами элементов, микронная литографияБольшой англо-русский и русско-английский словарь > micrometer lithography
-
3 submicron lithography
Большой англо-русский и русско-английский словарь > submicron lithography
-
4 micrometer [micron] lithography
литография для изготовления ИС с микронными размерами элементов, микронная литографияАнгло-русский словарь технических терминов > micrometer [micron] lithography
-
5 submicron lithography
литография для изготовления ИС с субмикронными размерами элементов, субмикронная литографияАнгло-русский словарь технических терминов > submicron lithography
-
6 micron lithography
2) Микроэлектроника: литография для формирования элементов микронных размеров -
7 submicron lithography
-
8 micrometer lithography
Универсальный англо-русский словарь > micrometer lithography
-
9 nanolithography
нанолитография, литография для изготовления ИС с нанометровыми размерами элементов -
10 nanolithography
нанолитография, литография для изготовления ИС с нанометровыми размерами элементовThe New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > nanolithography
-
11 electron beam lithography
(EBL)Электронно-лучевая литографияМетод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для облучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование ( проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем информации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографииАнгло-русский словарь по нанотехнологиям > electron beam lithography
-
12 EUV lithography
(Extreme UltraViolet lithography) субмикронная ультрафиолетовая литография, субмикронная технология EUV (для изготовления микросхем)см. тж. NGLАнгло-русский толковый словарь терминов и сокращений по ВТ, Интернету и программированию. > EUV lithography
См. также в других словарях:
ЛИТОГРАФИЯ — ЛИТОГРАФИЯ, метод ПЕЧАТАНИЯ с плоской, покрытой типографской краской поверхности. Этот метод, изобретенный в 1790 х гг., основан на том, что жир и вода не смешиваются. Литография позволяла быстро делать много копий одного и того же изображения и… … Научно-технический энциклопедический словарь
Литография — графич. техника, прообраз плоской печати; произведения, выполненные в этой технике; предприятие, делающее такую печать. Техника Л. представляет собой способ плоской печати, при к ром оттиски получаются переносом краски под давлением с плоской… … Российский гуманитарный энциклопедический словарь
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
электронно-лучевая литография — Electron Beam Lithography (EBL) Электронно лучевая литография Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ГРАВЮРА — [от франц. gravure], вид графического искусства; техника обработки досок (пластин, форм) гравирование для получения оттисков изображений на бумаге, ткани и т. п.; печатный оттиск. Евангелист Лука. Гравюра из «Апостола» И. Фёдорова. М., 1564 (РГБ) … Православная энциклопедия
БОЛГАРИЯ — (Республика Болгария; болг. Република България), гос во на Балканском п ове. Территория: 110994 кв. км. Столица: София (1310 тыс. чел. 2002). Крупнейшие города: Варна, Пловдив, Бургас, Стара Загора, Плевен, Шумен, Русе. Гос. язык: болгарский.… … Православная энциклопедия
АФОН — [Св. Гора; греч. ̀ρδβλθυοτεΑθως, ̀λδβλθυοτεΑγιον ̀ρδβλθυοτεΟρος], крупнейшее в мире средоточие правосл. монашества, расположенное в Греции на п ове Айон Орос (Св. Гора, Афонский п ов). Находится под церковной юрисдикцией К польского Патриархата.… … Православная энциклопедия
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия
Наноантенна — Рис. 1. Спектральная плотность облучения солнечного света. Красная область показывают плотность облучения на уровне моря. Провалы в ней объясняются поглощением света в атмосфере. Наноантенной называется устройство накопления солнечной энергии,… … Википедия
Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия
Фотонный кристалл — Фотонный кристалл это материал, структура которого характеризуется периодическим изменением показателя преломления в пространственных направлениях[1]. В другой работе[2] встречается расширенное определение фотонных кристаллов … … Википедия
